湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55时，冷却水管壁上会结露，如果发生在装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45。

烟气热量容易积聚。无尘车间一般呈密闭状态，门窗少，发生火灾时，烟气热量不易向外散出，火源的热幅射经四壁反射室内迅速升温，同时造成烟气滞留，热量剧增，大大缩短室内各部位材料选到燃点的时间。烟雾毒性大。无尘车间内装修中使用了一些高分子合成材料，这些材料在发生燃烧时会产生大量浓烟，散发毒气，给人员逃生和消防人员救火带来很大的威胁。

洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及良好的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是：

1．烦恼的效应由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率，层流罩。

2．对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神动作准确性工作速度

3．对综合通讯的干扰。

无尘室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：

⑴天花板系统

包括吊杆（Ceiling rod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。

⑵空调系统

包括空气舱、过滤器系统、风车等。

⑶隔墙板（Partitional wall)

包括窗户、门。

⑷地板

包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。

⑸照明器具

包括日光灯、黄色灯管等。

⑹无尘室之建筑主体构造

一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，满足如下之条件：

A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；

B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；

C.吸湿性小；

D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。