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2024-04-28 01:00:01  1045次浏览 次浏览
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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒服感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

洁净室内静电导致的事故有以下几方面;

1.静电电引起的静电电击,引起人和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒,由摔倒又致伤);

2-静电放电引起的放电电流,可导致诸如半导体元件等破坏和误动作,例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内,摇晃数次后,与非门栅严重击穿者计39块,失效率竞达78,这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏;

3.静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作;

4.静电放电的发光可导致照像肢片等感光破坏;

5.静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞,纺纱线纷乱,印刷品深浅不均和制品污染;净化工程

6.静电放电引起的危险的灾害是成为可燃物的火源井引起爆炸,例如国外文献统计,在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中,爆炸的36次,其中由静电引起的达21次。

净化工作台原理的洁净环境是在特定的空间内,洁净空气(进滤空气)按设定的方向流动而形成的。以气流方向来分,现有的超净工作台可分为垂直式,由内向外式以及侧向式。从操作质量和对环境的影响来考虑,以垂直式较优越。由供气滤板提供的洁净空气以一个特定的速度下降通过操作区,在大约操作区的中间分开,由前端空气吸入孔和后吸气窗吸走,在操作区下部前后部吸入的空气混合在一起,并由鼓风机泵入后正压区,在机器的上部,30的气体通过排气滤板从顶部排出,大约70的气体通过供氧滤板重新进入操作区。为补充排气口排出的空气,同体积的空气通过操作口从房间空气中得到补充。这些空气不会进入操作区,只是形成一个空气屏障。

无尘车间风管穿过需要封闭的防火防爆楼板或墙体是采取的措施。应设钢板厚度不小于1.6mm的预埋管或防护套管,无尘车间风管与防护套管之间应采用不燃柔性材料封堵。无尘车间风管穿越建筑物变形缝空间时,应设置柔性短管,无尘车间风管穿越建筑物变形缝墙体时,应设置钢制套管,无尘车间风管与套管之间应采用柔性防水材料填充密实。

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