ITO靶材的制备通常采用物相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）等方法。PVD法通过溅射技术将铟和锡等材料沉积在基材上，形成ITO薄膜。CVD法则是通过气相反应在基材表面生成ITO薄膜。这两种方法都能够生产高质量、均匀的ITO薄膜，但PVD法更为常见。
钯是一种稀有的贵金属，广泛应用于汽车尾气催化剂、电子工业、制药等领域。由于钯的需求量不断增加，回收钯成为了一种重要的资源利用方式。
目前钯的回收方法主要有两种：化学还原法和高温还原法。
1. 化学还原法
化学还原法是一种较为常见的钯回收方法，其原理是利用化学试剂将钯离子还原成钯单质。具体操作方法是将废钯料放入烧杯中，加入适量的盐酸溶解，再加入还原剂将钯离子还原成钯单质，后将溶液中的钯单质过滤出来。这种方法操作简单，成本较低，但需要严格控制反应条件，避免杂质离子的干扰。
2. 高温还原法
高温还原法是指在高温下将钯氧化物还原成钯单质。这种方法需要使用高温炉进行加热，通常在惰性气氛中进行，以避免氧化。高温还原法的优点是可以处理大量的废钯料，且回收率较高，但缺点是需要消耗大量的能源和昂贵的设备。
回收的钯需要进行妥善的保存，以避免氧化或污染。以下是几种常见的回收钯的保存方式：
1. 密封保存
将回收的钯放入密封容器中，排除空气，以避免氧化。容器应选择硬纸盒或纸板制成的可密封的容器，同时容器内应放置吸湿剂以保持干燥。
2. 防潮保存
钯是一种金属粉末，容易吸湿并与空气中的氧气发生反应。因此，回收的钯应存放在干燥的环境中，并保持容器密封，以避免受潮和氧化。
3. 分类保存
不同类型的钯回收料应分别存放，以避免不同类型料之间的相互污染。同时，不同类型的料也应进行标识和记录，以便于管理和追踪。
4. 定期检查
定期检查回收钯的保存情况，如发现有氧化或污染等问题，应及时采取措施进行处理。同时，也应对保存容器进行检查，以确保其密封性和完好性。
钯粉是一种惰性金属，它不会与大多数酸和碱反应，也不会与大多数其他元素形成化合物。然而，在高温和高压下，钯粉能够和氢气反应，生成一种叫作钯氢化物的化合物，这使得钯成为一种重要的催化剂。