天翼低温“TY-DW”系列低温捕集泵
低温捕集泵使用的意义:
低温捕集泵主要是根据麦斯纳(Meissner)原理,快速吸附真空系统中的水蒸汽,油蒸汽,有效缩短抽真空时间30%~90%,提高镀膜质量,彻底解决膜层颜色不均,容易脱落等问题。
水蒸汽,油蒸汽等残余气体产生的原因:
大气中的水蒸气可以占空气体积的0%到4%。因为水蒸气颗粒是无数水分子凝聚成的液体颗粒,使水蒸气除具有气体性质,还具有液体性质,这样大气压对水蒸气颗粒体积的影响,小于大气压对空气颗粒体积的影响.致使大气压越低,水蒸气颗粒密度几乎不变,而空气颗粒密度变小,导致水蒸气比空气重,所以气压越低空气中水蒸气含量越大.因此,无论是油扩散泵还是分子泵,都无法迅速、有效地将其抽出,故而越积越多,后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体;同时,由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象,故而会有少量油蒸汽进入真空系统。
水蒸气,油蒸汽的危害:
一 由于水蒸气和油蒸汽的存在,导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度,导致抽真空时间变长,生产效率下降;所需真空度越高,环境湿度越大,影响越明显。
二 同时,水蒸气,油蒸汽的存在,会导致膜层牢固度下降,无法多层镀膜,颜色不均一等影响产品质量现象发生。
三 水蒸气在某些条件下还会电离,产生氧气,使靶材氧化,导致镀膜颜色发生变化。所需真空度越高,环境湿度越大,影响越明显。
故而,水蒸气,油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。
低温捕集泵应用的原理:
低温捕集泵与真空泵抽除气体不同,他是将一个能达到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空腔体内或油扩散泵泵口,利用Meissner原理,使水蒸汽,油蒸汽快速凝结在制冷盘管表面,以达到快速抽真空,提高生产效率,提高镀膜质量的目的。因此,低温捕集泵与真空泵配合使用,较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率,提高产品质量。
天翼低温“TY-DW”系列低温捕集泵的主要功能特点:
降温迅速,5分钟内制冷到-120℃,可达-145℃;
快速吸附水蒸汽、油蒸汽,缩短抽真空时间60%~95%;
3分钟热气除霜,快速回温;
控制系统采用触摸屏+西门子PLC,更显档次;
备有本地控制,远程控制接口,与任何真空系统兼容,可接入客户镀膜机自动控制系统;
待机温度指示;
保持长期连续工作;
一台设备可设计双路负载输出;
可设计双路负载出口和回口温度显示、本机温度显示;
进口品牌低温专用压缩机,各种控制阀采用进口部件,运行平稳可靠;
压缩机压力过高保护,排气温度过高保护;
安装方便,系统改造简便;
断电,水温过高报警,保护;
结构紧凑、体积小、重量轻
天翼低温“TY-DW”系列低温捕集泵参数表
型 号 TY-DW-2000 TY-DW-2500 TY-DW-3500 TY-DW-5000
盘管温度(℃) -120℃至-145℃
压缩机功率(KW) 6 7 9 12
抽气速度 (l/s) 100000 150000 250000 350000
热负载(W) 2000 2500 3500 5000
盘管表面积(m2) 0.7 1 2 3
盘管规格 φ16mm ,14m φ16mm ,20m φ16mm ,40m φ16mm ,60m
预冷时间(min) ≤30 ≤30 ≤30 ≤30
降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5
除霜时间(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
再降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5
输出方式 单路输出 单/双路输出 单/双路输出 单/双路输出
适用炉体体积 2m³ 3 m³ 6 m³ 10m³
冷却方式 水冷20±2℃
电 源 380V 50HZ
外形尺寸mm 750X950X1650
(含轮100) 750X950X1650
(含轮100) 750X950X1650
(含轮100) 820X980X1700
(含轮100)
(宽x深x高)
重 量(Kg) 400 450 500 600
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