车间的空气是靠进风系统将气流活塞般的挤压进入。千级无尘实验室气流通过初效过滤器，然后再经中效过滤器，然后经过或超过滤器，将洁净空气传入车间内，使空气尘粒迅速达到相应相应的标准要求，并且把车间内污染排出。为考虑节能，排出的污染空气经过回风后，再经过或超过滤器传入车间。

众所周知根据要求在车间内部的工作人员都需要穿戴洁净服。对于穿上洁净服工作的人员而言室内温度要在二十三摄氏度左右才适宜工作。如果工作人员穿戴的洁净服其要求比较严格的话，千级无尘实验室的温度就要比二十三摄氏度更低。车间内部的湿度会根据不同的季节而变化，然而夏季车间的相对湿度会比较低，而冬季车间的相对湿度会比较高。当前的微电子加工工厂对车间的温湿度的参数要求都很高。